Рахимов Александр Турсунович

(род. 10.01.1943, г. Фергана, Узбекской ССР). Окончил физический факультет МГУ (1966).

Кандидат физико-математических наук (1971). Доктор физико-математических наук (1977). Профессор (1985).

Заведующий кафедрой атомной физики, физики плазмы и микроэлектроники физического факультета (1988–н.вр.). Заведующий отделом микроэлектроники Научно-исследовательского института ядерной физики (1976–н.вр.). Работает в МГУ с 1967 г.

Награждён орденом Дружбы народов (1985).

Лауреат Государственной премии СССР (1978), премии им. М.В.Ломоносова (1975).

Заслуженный научный сотрудник Московского университета (1999). Заслуженный работник высшей школы РФ (2005).

Область научных интересов: физика низкотемпературной плазмы, вакуумная микроэлектроника, физика микро- и наноструктур. Автор работ, посвящённых численному моделированию и экспериментальному исследованию физико-химических процессов в рабочей среде плазмохимических реакторов, используемых в микро- и нано-технологии производства современных сверхбольших интегральных схем.

Госпремию получил совместно с И.Г. Персианцевым за разработку физических принципов, создание и исследование газовых лазеров, возбуждаемых с использованием ионизирующего излучения.

Ломоносовскую премию получил в составе авторского коллектива за цикл работ «Непрерывные СО₂-лазеры с несамостоятельным зарядом».

Тема кандидатской диссертации «Некоторые вопросы нелинейного взаимодействия электромагнитного поля с плазмой». Тема докторской диссертации «Непрерывные СО₂-лазеры, возбуждаемые несамостоятельным разрядом».

Читает курсы «Физические проблемы применения плазмы в микротехнологии», «Неустойчивости плазмы газового разряда», «Физические процессы в неравновесных газовых средах».

Основные труды: «Физические явления в газоразрядной плазме» (соавт., 1987), «Квантовая механика на персональном компьютере» (соавт., 1995). Имеет патенты.