Рау Эдуард Иванович

(род. 3.12.1941, село Макинка Кокчетавской обл.). Окончил физический факультет МГУ (1967).

Кандидат физико-математических наук (1975). Доктор физико-математических наук (1993). Профессор (1995).

Главный научный сотрудник кафедры физической электроники физического факультета (2017–н.вр.).

Область научных интересов: физика взаимодействия электронных и оптических пучков с полупроводниками, растровая электронная микроскопия, микротомография и диагностика в микроэлектронике.

Тема кандидатской диссертации «Развитие электронно-оптических методов исследования локальных электрических и магнитных полей». Тема докторской диссертации «Локальная диагностика объектов микроэлектроники методами томографии и сканирующей микроскопии».

Читает курсы «Электронная микроскопия и спектроскопия», «Электронно-зондовая диагностика материалов и приборов микроэлектроники».

Основные труды: учебные пособия «Сборник задач компьютерного практикума по физическим основам плазменных и лучевых технологий» (соавт., 2000), «Специальный компьютерный практикум “Физические основы плазменных и лучевых технологий”» (соавт., 2012); «Кафедре физической электроники 85 лет. Юбилейный сборник» (соавт., 2017).