ЭС: Э.И.Рау

РАУ ЭДУАРД ИВАНОВИЧ (р. 3.12.1941, с. Макинка Кокчетавской обл.), физик.

 

Окончил физический факультет МГУ (1967). Кандидат физико-математических наук (1975, «Развитие электронно-оптических методов исследования локальных электрических и магнитных полей»). Доктор физико-математических наук (1993, «Локальная диагностика объектов микроэлектроники методами томографии и сканирующей микроскопии»). Профессор (1995).

 

Главный научный сотрудник кафедры физической электроники физического факультета (2017–н.вр.).

 

Научная и педагогическая деятельность. В сфере научных интересов физика взаимодействия электронных и оптических пучков с полупроводниками, растровая электронная микроскопия, микротомография и диагностика материалов и приборов микроэлектроники.

 

Основные труды: учебные пособия «Сборник задач компьютерного практикума по физическим основам плазменных и лучевых технологий» (соавт., 2000), «Специальный компьютерный практикум “Физические основы плазменных и лучевых технологий”» (соавт., 2012); «Кафедре физической электроники 85 лет. Юбилейный сборник» (соавт., 2017).

 

Литература: Э.И.Рау. Клуб выпускников МГУ.